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逆向工程中集成电路图像的自动识别与描述方法

期刊:Institute of Engineering Cybernetics Belarusian Academy of Sciences

这篇文档属于类型a,即报告了一项原创性研究。以下是针对该研究的学术报告:


集成电路图像逆向工程中的自动化元素识别与拓扑提取方法研究

一、作者与机构信息

本研究由D. LagunovskyS. Abramenko(来自白俄罗斯科学院工程控制论研究所,*Institute of Engineering Cybernetics, Belarusian Academy of Sciences*)以及M. Kutas(来自生产集成系统研究中心*“Belmikrosystems” of Production Amalgamation “INTEGRAL”*)合作完成。研究未明确标注发表期刊与时间,但引用了多篇1990年代的文献(如1995年Varady等人的论文),推测其可能为早期技术报告或会议论文。


二、学术背景

研究领域:本研究属于集成电路(Integrated Circuit, IC)逆向工程计算机视觉的交叉领域,聚焦于通过图像处理技术从IC层析图像中自动提取电路拓扑结构。

研究动机:传统IC逆向工程依赖人工操作,效率低且易受噪声干扰。现有方法(如阈值分割、边缘检测)在噪声抑制和拓扑关系保留上存在局限。本研究旨在开发一种抗噪声、低错误率的自动化流程,以提升IC设计与质量检测的效率。

关键技术背景
1. IC层析图像特性:IC由多层堆叠构成,每层包含金属走线(metallic tracks)和电子元件(如晶体管、电阻),需通过物理剥离逐层成像。
2. 核心挑战:图像中存在高噪声、层间残留物干扰、目标与背景反射率差异小等问题,导致传统二值化方法失效。


三、研究流程与方法

研究分为金属走线处理有源元件处理两大模块,共包含10个关键步骤(见图表流程)。以下分述核心流程:

1. 金属走线图像处理
  • 图像预处理
    • 滤波1(Filtration 1):采用高斯滤波平滑图像,为后续阈值分割降噪。
    • 对比度变换(Contrast Transformation):增强金属与背景的反射率差异。
  • 边缘检测与阈值分割协同处理
    • 创新点:提出联合边缘检测(Edge Detection)与阈值分割(Thresholding)的方法。边缘检测(使用8×8和6×6大尺寸掩模)精确定位边界,阈值分割(基于直方图分析)提供拓扑关系信息。
    • 图像融合(Combining Two Images):将边缘检测结果与阈值分割结果叠加,生成兼具几何精度和拓扑连接的复合图像。
  • 矢量化(Vectorisation)
    • 开发快速矢量化算法,假设所有边界为直线,通过“原始线段”(Primitive Line, PL)概念(连续3像素的邻接边缘)提取直线段,并合并相邻线段以重构矢量表示。
2. 有源元件图像处理
  • 分层处理
    • Layer 1(黑色元件)Layer 2(亮色轮廓元件)需区分处理。挑战在于层间残留物(如空洞或碎片)可能被误分类。
    • 细化(Thinning):通过形态学处理获得单像素宽轮廓,便于后续分类。
  • 邻域分析(Analysis of Neighbouring Areas)
    • 动态分类算法:将图像划分为连通区域,按邻域特征迭代分类(背景、Layer 1、Layer 2),直至所有区域标记完成。
3. 实验对象与数据规模
  • 样本:实际IC生产中的层析图像(未明确数量,但提及“处理超千幅图像”)。
  • 硬件:显微镜、数码相机、移动基座组成的图像采集系统。

四、主要结果

  1. 金属走线提取
    • 边缘检测误差率低于传统方法(未量化,但强调“稳定抗噪”),矢量化后边界直线度满足IC设计软件输入要求(图7-9)。
  2. 有源元件分类
    • 邻域分析算法成功区分层间残留物与真实元件(图14-16),分类准确率依赖上下文分析(如碎片尺寸与元件尺寸的对比)。
  3. 系统应用
    • 该流程已用于企业IC生产,支持质量检测与逆向设计,显著减少人工操作。

五、结论与价值

科学价值
- 提出边缘检测与阈值分割协同的创新方法,解决了噪声环境下几何精度与拓扑关系难以兼顾的问题。
- 开发的快速矢量化算法动态邻域分类算法为多层IC图像分析提供了通用框架。

应用价值
- 系统已工业化部署,支持IC逆向工程与缺陷检测,提升生产效率。


六、研究亮点

  1. 方法创新:首次将边缘检测与阈值分割的结果融合,兼顾局部精度与全局拓扑。
  2. 工程实用性:算法设计针对IC图像的特殊性(如高噪声、多层级),可直接集成至生产流程。
  3. 跨层处理能力:通过邻域分析有效区分层间干扰,优于传统基于颜色的分割方法。

七、其他补充

研究提及未来将探索先验知识(a priori knowledge)的引入,以进一步提升分类可靠性,表明其持续优化方向

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