スパッタリングされたカリウムナトリウムニオブ酸塩を使用した高音圧圧電マイクロマシニング超音波トランスデューサ
高音圧圧電マイクロマシニング超音波トランスデューサの研究進展 学術的背景 超音波トランスデューサは、物体検出、非破壊検査、生体医学的イメージング、治療などの分野で広く使用されています。従来のバルク超音波トランスデューサと比較して、圧電マイクロマシニング超音波トランスデューサ(PMUT)は、小型化、低消費電力、広帯域幅などの利点があり、消費電子機器やIoT(モノのインターネット)における測距、ジェスチャー認識、指紋センシング、3Dイメージングなどのアプリケーションに適しています。しかし、これらの小型センサーは出力圧力が比較的低く、さまざまなアプリケーションでの信号伝送が制限されています。例えば、最先端の窒化アルミニウム(AlN)ベースのPMUTアレイは、4メートルの伝送距離しか達成していません...