非線形マイクロメカニカル共振器における1:2および1:3内部共振の周波数安定化に関する理論的考察
マイクロメカニカル共振器における内部共振メカニズムの研究とその周波数安定化への応用 背景紹介 マイクロメカニカル共振器(micromechanical resonators)は、高周波数、高品質因数、高感度を特徴とする現代の時間計測およびセンシングデバイスにおいて重要な役割を果たしています。しかし、これらの共振器の極めて低い減衰特性は、さまざまな非線形現象を引き起こし、周波数安定性に影響を与える可能性があります。その中でも、ダフィング硬化効果(Duffing hardening effect)は主要な制限要因であり、振幅変化による周波数ドリフト、すなわち振幅-周波数効果(amplitude-frequency effect)を引き起こします。近年、内部共振(internal resonanc...