二次元材料の置換ドーピングと厚さ制御を用いた高性能p型電界効果トランジスタ

高性能p型フィールド効果トランジスタ:2次元材料の置換ドーピングと厚さ制御 学術的背景 半導体技術の進展に伴い、シリコン基フィールド効果トランジスタ(FET)はパフォーマンスの限界に近づいています。このボトルネックを克服するため、研究者たちはシリコンの代替として2次元(2D)材料の可能性を模索しています。モリブデン二硫化物(MoS₂)、モリブデン二セレン化物(MoSe₂)、およびタングステン二セレン化物(WSe₂)といった2D遷移金属ジカルコゲナイド(TMD)は、原子レベルで平滑で欠陥のない表面や優れた電子特性により注目されています。しかしながら、n型2D FETでは著しい進歩が見られる一方、p型2D FETの開発は遅れています。これは主に、金属-2D材料の界面におけるフェルミ準位ピン止め効...