基于二维半导体的三维晶体管在未来CMOS缩放中的应用
三维晶体管研究:以二维半导体材料为核心的未来CMOS技术发展 近年来,随着硅基互补金属氧化物半导体(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor, CMOS)技术接近其物理极限,下一代微电子技术的持续缩放和性能优化面临诸多挑战。如何在亚纳米尺度上维持电流开关比(on–off current ratio)、提高集成密度以及提升能效,成为学术界和工业界亟待解决的问题。本文针对这一背景,提出探索二维(2D)过渡金属二硫化物(Transition Metal Dichalcogenides, TMDs)作为后硅CMOS时代的关键导电通道材料,并通过设计新的三维(3D)晶体管架构,展示了其在延续摩尔定律(Moore’s Law)方面的巨大潜能。 研究背景与意义 CMO...