Étude sur la piézorésistivité des films minces de V₂O₃ dopés au Cr pour les applications de capteurs MEMS Contexte académique Les capteurs microélectromécaniques (MEMS) piézorésistifs sont des dispositifs qui exploitent l’effet piézorésistif d’un matériau pour convertir un changement de contrainte, induit par la propriété physique observée, en un c...