Un accéléromètre MEMS à résonance quartz avec une résolution de 14 μHz/√Hz et une instabilité de biais de 32 μHz, doté d'un circuit de lecture oscillant à faible bruit
Étude sur un accéléromètre MEMS à résonance en quartz à haute résolution basé sur un circuit de lecture oscillant à faible bruit Contexte académique Les accéléromètres à système micro-électromécanique (MEMS) ont des applications étendues dans des domaines tels que la navigation inertielle, la détection sismique, les dispositifs portables et les rob...